Los robots de la serie NT diseñados para la aplicación de sala limpia pueden alcanzar hasta cuatro FOUP, el robot de brazo doble NT520 ofrece un rendimiento estándar de 280 obleas por hora (WPH) con alineador y 400 WPH sin alineador. El software y el hardware están equipados con funciones de detección de colisión y cumplen con los estándares de exoneración de tensión SEMI F47 y los estándares de seguridad y salud ambiental SEMI S2.
Controlador D
Los controladores D están diseñados para desarrollar aplicaciones de sala blanca que incluyen un proceso de servo digital completo, puerto de comunicación Ethernet estándar, tamaño compacto, desarrollo flexible de software diferente, operación independiente de dos brazos y controles multieje, servoamplificadores uniformes para todos los ejes, estándares medioambientales, salud y seguridad SEMI S2, ISO 1 sala blanca.
Especificaciones del controlador D60
- Sistema digital completo servo
- Ejes controlados: máximo 7 ejes
- Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
- Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
- Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
- Señal de entrada: máximo 16 canales.
- Señal de salida: un máximo de 8 canales
- Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV
Datos Generales
Número de ejes: 5
Alcance máximo: 1.280 mm
Repetibilidad: ± 0.1 mm (centro de la oblea)
Controlador: D60 / D61
Alcance máximo: 1.280 mm
Repetibilidad: ± 0.1 mm (centro de la oblea)
Controlador: D60 / D61
Rango de movimiento (°)
Eje (1 (rotación JT2): 340 °
Eje Z (arriba-abajo JT3): 470 mm
Eje θ2 (rotación JT4): 340 °
Eje H1 (rotación JT6): 340 ° (380 °) como opción
Eje H2 (rotación JT7): 380 °
Eje Z (arriba-abajo JT3): 470 mm
Eje θ2 (rotación JT4): 340 °
Eje H1 (rotación JT6): 340 ° (380 °) como opción
Eje H2 (rotación JT7): 380 °
Aplicaciones deL Robot
Sala limpia
