Роботы серии NT, предназначенные для использования в чистом помещении с одним плечом NT510, могут обеспечить до четырех FOUP, которые обеспечивают стандартную производительность 280 вафелей в час (WPH) с помощью выравнивателя и 400 WPH без выравнивателя. Программное обеспечение и аппаратные средства оснащены функциями обнаружения столкновений и соответствуют стандартам защиты от перенапряжений SEMI F47 и стандартам окружающей среды, здоровья и безопасности SEMI S2.
Контроллер D60
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный коммуникационный порт Ethernet, компактный след, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, равномерных сервоусилителей для всех осей, здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Осложнения контроллера D60
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: максимум 7 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: максимум 16 каналов.
- Выходной сигнал: максимум 8 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
- Серво цифровая система
- Управляемые оси: Максимум 12 осей
- Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
- Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
- Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
- Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
- Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Входной сигнал: Максимум 96 каналов
- Выходной сигнал: максимум 80 каналов
- Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
Количество осей: 4
Максимальное расстояние l: 1230 мм
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Максимальное расстояние l: 1230 мм
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
Диапазон движения (°)
ось θ1 (вращение JT2): 340 °
Ось Z (вверх JT3): 470 мм
ось θ2 (вращение JT4): 340 °
Ось H1 (вращение JT6): 340 ° (380 °) como opción
Ось H2 (вращение JT7): -
Ось Z (вверх JT3): 470 мм
ось θ2 (вращение JT4): 340 °
Ось H1 (вращение JT6): 340 ° (380 °) como opción
Ось H2 (вращение JT7): -
Приложения для роботов
Чистая комната
